湿化学工程师

1. 上下班交接

1.1 每班对机台工艺参数进行点检、记录。若有异常及时修正，若涉及到生产、设备，督促其改善；

1.2 每班当班的各类异常及日常运行信息需仔细填到每日必填的相应表格中。异常部分则需有分析、改善记录；

1.3 将当班生产指标出现异常状况（良率（指单晶）、花斑、返工率）详细记录、inline参数是否异常、各生产机台异常状况详细记录、各异常产生的原因及解决措施，并与下个班次交接；

1.4 每天值班中遇到的困难，需及时反馈给车间资深工程师及高级工程师；

1.5 待完成本班所有处理事项后，将相关记录与下班交接。

1.6 工程师与助理工程师一起负责车间值班工作。

2. 日常点检

2.1 点检各机台工艺参数：接班后点检制绒机台、自动清洗机、工艺参数，确保各工艺参数与工艺卡相符合，产线正常运行；包括单晶制绒和碱抛三合一机台实际温度及配方点检；清洗机、机台状况、工艺参数设置；

2.2 查看开班制绒机台和碱抛三合一机台减重及反射率，之后每3h巡查制绒机台减重及反射率；对异常数据查找原因并给出改善及预防措施；

3. 查看数据真实性及制绒开班调试

3.1 每班开班时关注生产有无调试制绒机和碱抛三合一，是否在减重、反射和绒面正常情况下生产，发现开班绒面异常和背面抛光异常的可在流程单上进行相关标注后下传。

3.2 每班不定期抽检质量测试的减重、反射及数据与工艺测试的有无差异，确定当班质量测试数据的真实性。

4. inline参数--- 减重、反射率维护

4.1 查看上班减重、反射率CPK是否低于目标值，以便于本班及时调整；

4.2 若是否低于目标值则了解值班过程中是否有异常发生，若有异常则了解上班值班工程师对此异常的处理过程（是否给出原因分析、改善对策等），并关注异常的改善效果；

4.3 若有异常或异常原因不明，则处理流程如下：

4.3.1 人员操作：确认人员测试方法、数据录入等操作是否按SOP作业。若有违规，则通知生产改善；

4.3.2 机台状况：确认机台是否有报警、故障存在。若有，通知生产报修设备；

4.3.3 原料信息：确认片源电阻率、厚度等相关信息。若有异常，通知质量；

4.3.4 工艺流程、参数及SOP文件确认：确认工艺流程、工艺参数、SOP文件等是否正确。若与实际现状不符，则修改相关流程、参数及SOP文件；

4.3.5 环境状况：确认现场的环境洁净度、温湿度、排酸风压、机台日常大小维护是否达标。若不达标，则通知生产、工程动力改善。

4.3.6 若仍无法分析出原因，则将处理过程、相关信息做好记录，反馈给车间资深工程师及高级工程师，一起商讨处理措施；

4.3.7 待车间资深工程师给出处理结果后，追踪当班改善效果。

5. 查看良率、花斑率（EL）、返工率比例是否异常，若异常要及时分析并解决。

5.1 每个班看一次花斑（EL）；

5.2 每班不定期抽查现场生产的返工片状况，发现烧焦片比例超标时及时分析制绒机是否异常；生产操作是否异常；石英舟清洗状况；制绒机生产硅片是否异常；超净花篮是否清洗或脏污；镊子是否清洗或脏污等。

5.3 单晶良率，每班查看，对于出现的异常现象，及时分析、处理；单晶返工片，制绒、碱抛三合一出现的单晶返工片，及时分析、处理，指导生产予以解决，对于后段反馈的单晶返工片，结合后段排查分析，找出问题点，若是前段问题，及时结合生产予以解决，纠正，并向高级工程师汇报。

6. 现场生产品质或设备出现异常，需及时记录、跟踪情况。

6.1 出现异常转处理片时，要记录日期、班组、时间、硅片类型、片源批号、流程单号、设备机台号、工艺类型、异常类型、异常描述、原因分析、处理措施、转处理片数。

6.2 电阻异常，应详细记录异常方阻大小、异常片数及异常硅片处理方法（记录流程单号等信息下传或转处理等）并查找异常原因、给出处理措施；

6.3 设备出现异常时，要及时通知相关人员，检查有无影响工艺的运行或硅片品质，跟踪后续的状况，对异常现象、处理措施及设备交付后状况等做相应记录。

7. 设备及工装夹具周期性维护

7.1 当班如遇到设备维护制绒机和碱抛三合一到换槽周期的，须调试正常交与生产，并关注开始生产情况（包括减重、反射率、绒面等）；

7.2 生产对制绒机和三合一大维护后确认槽壁及机械臂等干净后交付生产；对清洗不合格及相关机台有权要求相关部门重新清洗维护；

8. 当班如遇较大异常，需及时通知高级工程师，并在高级工程师的指导下查找原因、排除异常

8.1 较大异常定义为：影响产出在1小时以上，或者出现品质异常超过400片，或者该类异常频繁出现，且对生产现场的正常运行造成一定困扰。

8.2 当所遇状况超出工艺部独自执行范围时，请联系相关部门（如设备，工程动力等）；涉及到其他部门的一定要第一时间通知到其他部门，与之配合采取措施。

9. 后段工程师反馈的工艺异常并帮助查找原因

9.1 后段反应绒面异常导致色差，要配合后段一起排查是否属实，具体排查流程：去现场分析绒面是否异常或绒面偏暗或偏亮导致（与其它正常片不一致）、是否整组出（可能与制绒调节有关）还是一组中出现几片（可能与片源有关）。如果确认为制绒异常，要排查：现场片源有几种，异常片的片源是什么（是否与片源有关）、有无固定制绒机、出现异常的制绒时间（是否开班或结束或换片源时候等）、确认现场各制绒机正在生产的硅片绒面有无异常（有则结合反射率状况及时调整）。

9.2 效率异常时，要确认异常的现象，根据不同的现象排查设备有无异常、机台有无差异、工艺参数有无异常、物料使用有无异常、Inline数据有无异常、测试机台有无异常。

10. 完成日报及相关数据收集、表格的填写及SPC系统中OCAP处理的工作

10.1 数据的填写确保真实准确，出现偏差需采取对应措施，如人为录错可以剔除，故意编造需对当班班长做出警示，并及时向高级工程师做出汇报；

10.2 OCAP处理的情况需及时详尽到位，不可出现跨班次未处理现象（处在排查中的且与下个班次人员交接清晰的除外）。

11. 做好车间工艺或机台有关信息的搜集、记录和反馈工作

11.1 当班生产时，对于现场使用的工艺的稳定性、实际生产状况、有无需改进地方等信息做好记录并及时反馈给高级工程师。

11.2 当班生产时，对机台的使用状况、卫生状况、异常状况等做好汇总并及时反馈高级工程师。